زمینه روشن خواهد شد .
تلاش شده است با دیدگاه ساخت نمونه ای نو ، اطلاعاتی مقدماتی در زمینه میکروپمپها گردآوری شـود تـا بـا توجـه بـه
اهمیت فراوان و نیاز به کاربرد روزافزون میکروپمپ ها در تکنولوژی مدرن ، گامی کوچک در ایـن امـربرداشـته شـود .
لذا در این مجموعه به معرفی مواد مورد استفاده در ساخت میکروپمپها و بررسی خواص آنه ا نیز پرداخته میشود . سـپس
تکنیک های مختلـف سـاخت و پروسـه هـای تولیـد معرفـی خواهنـد شـد . و در انتهـا مـروری کوتـاه بـر packaging
میکروپمپها خواهیم داشت .
امید است این مجموعه توجه علاقمندان را به کار در این زمینه جلب نماید ، که در این صورت بخش بزرگـی ازاهـداف
برآورده شده است.
مقدمه
با وجود اینکه برخی ابزارهای microfluidics خیلی جدید نیستند ، با یک تحقیـق گـسترده متوجـه خـواهیم شـد کـه
میتوان microfluidics را در گروه علوم جدید قرار داد . بطور مشخص زمینه میکروپمپها یکی از شاخه های این علم
است که مدتهاست مورد توجه میباشد . شروع آن اواسط 1970 بود که گـسترش بـدون وقفـه و تنـوع شـگفت آوری در
اصول میکروپمپها ، مفاهیم تکنیکی و کاربردهای متنوع در این زمینه شکل گرفت . این روند ادامه داشـت تـا امـروز کـه
در علم MEMS
، روشهای نوین مدلسازی جریان ثابت ، مواد ریز سازه ، اصـول عملگرهـا ، تکنولـوژی

سـاخت ، و 1
کاربردهای آنها ارائه میشود که هنوز هم جهـت تحقیقـات در زمینـه میکروپمپهـا مـورد اسـتفاده قـرار میگیـرد . در میـان
پتانسیل های کاربردی موجود ، میتوان بطور خاص به کاربرد میکروپمپها در سنـسورهای بیوشـیمی و microfluidics
اشاره نمود که اززمان گذشته انگیزه ای قوی جهت تحقیقات بوده و با توجه به اهمیـت آن در آینـده نیـز ایـن تحقیقـات
ادامه خواهد داشت .
تکنیک های مختلف ساخت میکرو بسیار متفاوت از تکنیک های ساختی هـستند کـه بـرای ماشـین هـای معمـولی بکـار
میگیریم . اگرچه برخی از تکنیک های ساخت سنتی و معمول را میتوان در packaging تولیدات میکرو سیستم هـا و
MEMS بکار گرفت . تکنولوژی موجود جهت ساخت MEMS و میکروسیـستمها را نمیتـوان از روشـهای سـاخت
مورد استفاده در میکروالکترونیک جدا نمود . این ارتباط نزدیک در ساخت میکروسیـستمها و میکروالکترونیـک اغلـب