در این پایان نامه طراحی، شبیه سازی و پروسه ساخت یک سلف حلزونی قابل تنظیم با استفاده از تکنولوژی MEMS مورد بررسی قرار گرفته است. این سلف حلزونی قابل تنظیم، به منظور استفاده در مدارات RF مانند: نوسان سازهای کنترل شده با ولتاژ (VCO)، شبکه های تطبیق، تقویت کننده ها و… طراحی شده است. در این طراحی به منظور قابل تنظیم کردن مقدار اندوکتانس سلف، از روش الکترو استاتیک و از حرکت یک بازوی پیش آمده بالای سلف و تغییر مقدار شار مغناطیسی عبوری از آن استفاده شده است. مقدار اندوکتانس این سلف از 1/581nH به 0/681nH تغییر میکند . به این ترتیب قابلیت تنظیم مقدار اندوکتانس سلف درحدود 40/93 درصد بدست می آید. مقدار ماکزیمم ضریب کیفیت سلف مورد نظر در فرکانس 12/5GHz حدود 12/33 و مقدار فرکانس رزونانس آن حدود 19/5GHz با شبیه سازی بدست آمد. شبیه سازی ها در این طراحی با استفاده از نرم افزارهای INTELLISUITE7/2, HFSS11, MATLAB7 انجام شد.
فصل اول: مقدمه
1-1- مقدمه ای بر MEMS، کاربردها و مزایای آن